檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "氧化鋅".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="氧化鋅鋁"
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透明導電薄膜(Transparent Conductive Oxides ,簡稱TCO)近二十年成為了半導體產業常用到的材料。由於同時具備透光性以及導電性,可以應用各種光電產業元件。目前最常使用的透…
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本論文利用射頻電漿濺鍍沉積氧化鋅鋁(AZO)薄膜於自組裝單分子層薄膜(self-assembled monolayer, SAM)修飾後的玻璃基板,一般而言,低溫製程環境下所沉積出來的AZO薄膜不具…